RU 2248646 C2, 20.03.2005. ОКАБЕ X. Фотохимия малых молекул. - М.: Мир, 1981, с.154-158. SU 1793335 A1, 07.02.1993. JP 58155338 A, 16.09.1983. JP 2007110026, 26.04.2007.
Имя заявителя:
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова (RU)
Изобретатели:
Ковалев Александр Сергеевич (RU) Рахимов Александр Турсунович (RU) Рахимова Татьяна Викторовна (RU) Васильева Анна Николаевна (RU) Брагинский Олег Владимирович (RU) Лопаев Дмитрий Викторович (RU)
Патентообладатели:
Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерениям радикалов при исследовании фотохимических и плазмохимических процессов в лазерных системах, а также при использовании плазмохимических реакторов в технологии изготовления полупроводниковых приборов в микро- и наноэлектронике. Способ заключается в том, что на поток газа на выходе разрядного промежутка, генерирующего распадающуюся плазму с химически активными частицами (радикалами), накладывается дополнительный высокочастотный разряд, в который вкладывается энергия, не превышающая 5% энергии, вкладываемой в основной разряд. Методом актинометрии измеряют концентрацию радикалов в основном разряде и в дополнительном разряде в заданной области потока газа, затем измеряют концентрацию радикалов только в дополнительном разряде при отсутствии основного разряда, а по разнице двух измерений в дополнительном разряде определяют концентрацию радикалов, генерируемых основным разрядом, в заданной области потока газа в условиях, когда происходит распад плазмы и гибель радикалов. Изобретение позволяет измерять концентрации радикалов на выходе разрядного промежутка в заданной области потока газа в распадающейся плазме. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента