|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПОДЛОЖЕК |  |
Номер публикации патента: 2331870 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/88 | | Аналоги изобретения: | RU 2069353 С1, 20.11.1996. RU 54677 U1, 10.07.2006. SU 188028 А, 22.03.1967. SU 163366 А, 22.06.1964. |
| Имя заявителя: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) | | Изобретатели: | Казанский Николай Львович (RU)
Волков Алексей Васильевич (RU)
Бородин Сергей Алексеевич (RU) | | Патентообладатели: | Институт систем обработки изображений Российской академии наук (ИСОИ РАН) (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к оптическому приборостроению. Исследуемую поверхность подложки очищают плазмохимическим травлением в среде инертного газа при режимах, не допускающих распыление материала подложки. Сразу после очистки подложку располагают горизонтально и на ее поверхность с высоты не менее 6 мм и не более 22 мм наносят каплю жидкости фиксированного объема.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента