На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЯ | |
Номер публикации патента: 2285912 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01N021/86 | Аналоги изобретения: | DE 922596 A, 20.01.1955. DE 10019258 C1, 22.11.2001. RU 2087861 C1, 20.08.1997. SU 952373 A, 28.08.1982. |
Имя заявителя: | Эплайд Филмз ГмбХ энд Ко. КГ (DE) | Изобретатели: | ЛОТЦ Ганс-Георг (DE) ЗАУЭР Петер (DE) ХАЙН Штефан (DE) СКУК Петер (AT) | Патентообладатели: | Эплайд Филмз ГмбХ энд Ко. КГ (DE) |
Реферат | |
Установка для нанесения покрытия состоит из нескольких расположенных последовательно друг за другом камер для нанесения покрытия, разделенных перегородками, свободные торцы которых расположены непосредственно над подложкой, которая перемещается из одной камеры в другую. На свободных торцах перегородок расположены измерительные устройства для измерения оптических свойств подложек.
|