|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПРИБОР ДЛЯ ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНТНОГО КАРТОГРАФИРОВАНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН (ВАРИАНТЫ) |  |
Номер публикации патента: 2172946 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N021/64 G01N021/39 | | Аналоги изобретения: | Miner C.J. Non-destructive, whole wafer assessment of optoelectronic epitaxial materials. Semicond. Sci. Technol. V.7, № 1А, р.10 - 15 (1992). RU 2141647 С1, 20.11.1999. RU 2046318 С1, 20.10.1995. SU 1608514 A1, 23.11.1990. US 5760951 A, 02.06.1998. GB 2102120 A, 26.01.1983. US 4490040 A, 25.12.1984. |
| Имя заявителя: | Митюхляев Виталий Борисович | | Изобретатели: | Митюхляев В.Б. | | Патентообладатели: | Митюхляев Виталий Борисович |
Реферат | |
Изобретение относится к области неразрушающего контроля. Сущность: прибор дополнительно включает поворотный стол, на котором установлен предметный столик. Датчик фотолюминесценции включает расположенное над объективом плоское наклонное зеркало, имеющее отверстие для прохождения лазерного луча. Фокус объектива оптически сопряжен с фотоприемником через наклонное зеркало и конденсор. Технический результат - повышение быстродействия. 2 с. и 10 з. п. ф-лы, 5 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента