|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ АНАЛИЗИРУЕМОЙ ПОВЕРХНОСТИ И СКАНИРУЮЩИЙ АНАЛИЗАТОР ПОВЕРХНОСТИ |  |
Номер публикации патента: 2141647 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N021/89 | | Аналоги изобретения: | Altendorfer H. et al. "Unpatterned surface inspection for next-generation devices." - Solid State Technology, 1996, v. 39, N 8, pp. 93 - 97. DE 3626724 A1, 11.02.88. US 465592 A, 07.04.87. US 4314763 A, 15.03.82. SU 1753377 A1, 07.08.92. |
| Имя заявителя: | Войналович Александр Владимирович | | Изобретатели: | Войналович А.В. | | Патентообладатели: | Войналович Александр Владимирович |
Реферат | |
Изобретение относится к оптическому приборостроению. Предложены способ контроля анализируемой поверхности и сканирующий анализатор для контроля дефектов поверхности. Предложенный способ заключается в том, что осуществляют вращение объекта с анализируемой поверхностью вокруг первой оси вращения, формируют на анализируемой поверхности пятно света и раздельно воспринимают свет, зеркально отраженный и рассеянный анализируемой поверхностью в точке падения на нее пятна света, и, анализируя полученные сигналы, определяют дефекты поверхности. Реализующий данный способ анализатор осуществляет перемещение пятна света относительно вращаемой анализируемой поверхности по дуге вокруг второй оси вращения, лежащего вне пределов анализируемой поверхности, и, измеряя величину рассеянного света, определяет наличие дефектов на поверхности пластин. Использование изобретения для контроля полупроводниковых пластин позволяет за счет уменьшения размеров и стоимости измерительного прибора встраивать его в технологическое оборудование электронной промышленности. 2 c. и 14 з.п.ф-лы, 3 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента