|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ КОРРОЗИОННОЙ СТОЙКОСТИ ПЛЕНОЧНЫХ МАТЕРИАЛОВ |  |
Номер публикации патента: 1811283 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N017/00 | | Дополн. коды МПК: | G01N029/04 | | Аналоги изобретения: | Авторское свидетельство СССР N 1320716, кл. G 01 N 29/04, 1987. Авторское свидетельство СССР N 1223137, кл. G 01 N 29/04, 1986. |
| Имя заявителя: | Научно-производственное объединение "Интеграл" | | Изобретатели: | Чигирь Г.Г.
Сологуб Л.В.
Буйко Л. |
Реферат | |
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано в технологическом процессе изготовления кристаллов ИМС на этапе формирования защитного пассивирующего покрытия. Способ контроля коррозионной стойкости пленочных материалов сокращает время контроля, приближает условия контроля к условиям эксплуатации металлизированных пленок кристаллов интегральных микросхем с защитным пассивирующим покрытием. Это достигается локальным возбуждением сфокусированных ультразвуковых колебаний в частотном диапазоне 100-2000 МГц с постоянной плотностью мощности 103 Вт/см2 при 20-60oС в области металлизированной пленки с защитным пассивирующим покрытием тестовых структур с регистрацией изменения амплитуды отраженных УЗ-колебаний до момента сквозного разрушения металлизированной пленки. Расположение тестовых структур на пластине в областях, свободных от кристаллов ИМС, например, на дорожках скрайбирования, обеспечивает неразрушающий контроль и возможность использования проконтролированных подложек для изготовления ИМС.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента