|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ СКАНИРУЮЩИМ ЗОНДОВЫМ МИКРОСКОПОМ |  |
Номер публикации патента: 2175761 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01N013/12 | | Аналоги изобретения: | RU 2020405 С1, 30.09.1994. WO 96/07868 A1, 14.03.1996. EP 736746 B1, 09.10.1996. |
| Имя заявителя: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина | | Изобретатели: | Лапшин Р.В. | | Патентообладатели: | Государственный научно-исследовательский институт физических проблем им. Ф.В. Лукина |
Реферат | |
Изобретение относится к электронно-измерительной технике и предназначено для использования в зондовом сканирующем устройстве. Сущность: способ заключается в использовании особенностей поверхности в качестве опорных точек при выполнении перемещений. Перемещения осуществляются от одной особенности к другой, расположенной по соседству.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента