|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЙ ДАТЧИК ВЛАЖНОСТИ ГАЗОВ |  |
Номер публикации патента: 2141639 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01N005/02 | | Аналоги изобретения: | SU 1798672 A1, 28.02.93. SU 1744590 A1, 30.06.92. SU 296988 A, 16.04.71. SU 1809367 A1, 15.04.93. DT 1901845 B2, 13.08.70. GB 1061767 A, 15.03.67. |
| Имя заявителя: | Омский государственный технический университет | | Изобретатели: | Кировская И.А.
Федяева О.А. | | Патентообладатели: | Омский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение относится к области газового анализа, в частности к детектирующим устройствам, применяемым для измерения влажности различных газов. В известном датчике влажности газов, содержащем подложку и полупроводниковое основание, подложка выполнена из пьезокварцевого резонатора АТ-среза, а полупроводниковое основание - из поликристаллической пленки селенида цинка, нанесенной на электродную площадку пьезокварцевого резонатора. Технический результат: повышение чувствительности датчика, технологичности его изготовления и расширение диапазона измерений микропримесей воды как в статическом, так и в динамическом режимах. 2 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента