Изобретение предназначено для использования в областях, требующих сверхчистых технологий. Емкостный датчик (28) давления технологического флюида, выполненный в виде кольца, размещенного в потоке флюида, содержит гибкую диафрагму (48) и электрод (50), интегрированный с электрическим изолятором (54). Диафрагма, изолятор и электрод расположены по всей внутренней поверхности датчика, установленного вдоль потока технологического флюида в резервуаре, с возможностью перемещения диафрагмы относительно электрода под действием флюида так, что емкость между электродом и диафрагмой, образующими кольцевой конденсатор, зависит от давления флюида. Два датчика давления (28) в виде кольцевых конденсаторов, разделенных ограничивающим поток элементом (21), предназначенным для создания перепада давления при помещении его в поток флюида, образуют датчик расхода (10). Изобретение повышает точность измерения давления. 2 н. и 17 з.п. ф-лы, 11 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента