SU 1789893 A1, 23.01.1993. RU 2267757 C2, 10.01.2006. RU 2336506 C1, 20.10.2008. RU 2247325 C2, 27.02.2005. US 3618390 A, 09.11.1971.
Имя заявителя:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) (RU)
Изобретатели:
Казарян Акоп Айрапетович (RU) Петроневич Василий Васильевич (RU) Езеев Николай Андреевич (RU)
Патентообладатели:
Российская Федерация, от имени которой выступает Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (Минпромторг России) (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения давления. Техническим результатом изобретения является повышение надежности за счет компактной конструкции датчика и применения в качестве чувствительного элемента датчика тензометрического и емкостного чувствительного элемента. Датчик для измерения давления содержит: основание из диэлектрической пленки, сформированный на ее поверхности основной экран, обкладку конденсатора, мембрану плоской формы или с гофрированным профилем с краевым, например, тороидальным профилем, собранные в пакет, штырьки, соединяющие обкладку, мембрану, основной экран, тензометрический мост с внешней цепью. При этом внутренняя полость датчика соединена с атмосферой через капиллярное отверстие. На поверхности мембраны сформирован тензометрический мост, электрически изолированный от поверхности мембраны слоем диэлектрической пленки. Датчик снабжен аппаратурой низкой частоты (АНЧ), источником питания постоянного тока, усилителем заряда и напряжения, блоком вычитания, индикатором. Одна из диагоналей тензометрического моста соединена с источником питания, а вторая диагональ тензометрического моста через АНЧ соединена с индикатором и с входом блока вычитания, который присоединен к индикатору. Емкостный выход датчика через штырек, усилители заряда и напряжения соединен с входами блока вычитания и индикатора. Тензометрические чувствительные элементы тензометрического моста и емкостные элементы конденсатора выполнены на основе «кремния на сапфире». Дополнительно введены защитная сетка, клеммная колодка со штырьками, опорная трубка с крышкой, корпус, залитый мягкой герметикой, по два резистора и конденсатора. Верхняя обкладка емкостного чувствительного элемента датчика через экран кабеля соединена с положительным полюсом усилителя заряда. Оба резистора и второй конденсатор соединены в одной точке. Первый резистор соединен с жилой кабеля, с первым конденсатором и нижней обкладкой емкостного чувствительного элемента датчика. Второй резистор соединен с положительным полюсом источника поляризации. Отрицательный полюс источника поляризации соединен с внешним экраном и местным заземлением. Емкостный чувствительный элемент и тензометрический мост соединены на одном выходе источника постоянного тока и питают датчик давления одним напряжением. Блок вычитания расположен внутри корпуса датчика. 2 ил.