МАЛОВ В.В. Пьезорезонансные датчики. Энергоатомиздат. - М.: 1989. SU 355519 А1, 16.10.1972. SU 1781574 A1, 15.12.1992. RU 2046331 C1, 20.10.1995. SU 1800518 A1, 07.03.1993. US 3792351 A, 12.02.1972. RU 21359563 C1, 27.08.1999.
Имя заявителя:
Симонов Валерий Николаевич (RU), Симонова Любовь Ивановна (RU)
Изобретатели:
Симонов Валерий Николаевич (RU) Симонова Любовь Ивановна (RU)
Патентообладатели:
Симонов Валерий Николаевич (RU) Симонова Любовь Ивановна (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники, а именно к измерительным преобразователям давления, усилий, ускорений и других механических параметров на основе резонаторов, выполненных из кристаллического материала, в частности кристаллического кварца. Техническим результатом изобретения является повышение точности резонансного кристаллического сенсора малых и средних давлений. Резонансный сенсор давления, усилий или перемещения содержит выполненные из кристаллического материала и жестко соединенные друг с другом плоскую мембрану и резонаторы упругих колебаний. На поверхности мембраны заодно с ней сформирована консоль, имеющая форму пластины, в теле которой выполнены резонаторы. Консоль объединена с мембраной одной из боковых граней или областями одной из боковых граней или областями одной из больших граней. Консоль может иметь форму пластин, а боковые грани резонаторов могут быть выполнены посредством сквозных отверстий в пластине. Ориентация граней консоли относительно кристаллографических осей материала сенсора выбирается с учетом анизотропии скорости химического или плазмохимического фрезерования в материале сенсора. Некоторые области обращенной к консоли поверхности мембраны и, по крайней мере, часть граней консоли формируют посредством пропилов в заготовке. Одни грани пластины консоли и одни области поверхности мембраны - крупноразмерные - формируют пропилами, а другие - образующие более тонкие и деликатные детали сенсора - химическим или плазмохимическим или ультразвуковым фрезерованием. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 17 ил.