|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ЕМКОСТНОЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2251087 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01L009/12 | | Аналоги изобретения: | SU 823913, 23.04.1981. SU 410794, 31.05.1974. SU 1778576 A1, 30.11.1992. ЕР 0059488 А1, 08.09.1982. ЕР 0351701 А2, 24.01.1990. WO 88/06281, 25.08.1988. |
| Имя заявителя: | Новосибирский государственный технический университет (RU) | | Изобретатели: | Величко А.А. (RU)
Илюшин В.А. (RU)
Филимонова Н.И. (RU) | | Патентообладатели: | Новосибирский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к конструкции датчика давления и способу изготовления. Сущность: емкостной датчик давления содержит кремниевую подложку, в которой сформирована мембрана, на которой последовательно располагаются эпитаксиальный монокристаллический слой фторида кальция, эпитаксиальный слой кремния, слой металлизации и вторая пластина кремния.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента