На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента

Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»

Вернуться к списку

ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ

Номер публикации патента: 2137099

Вид документа:  C1  Страна публикации:  RU  Рег. номер заявки:  95106595		Получить полное описание патента

Реферат

Изобретение относится к датчикам давления с защитой хрупкой мембраны от избыточного давления. Датчик включает подложку из хрупкого материала и мембранную сборку, закрепленную на подложке и герметично соединенную по периферии с подложкой. При подаче давления центральная часть мембраны прогибается в сторону подложки. Прогиб мембраны воспринимается тензодатчиками, которые определяют давление. Мембрана снабжена множеством отдельных выполненных за одно целое с мембраной опорных столбиков на стороне, обращенной к подложке. При высоких избыточных давлениях мембрана прогибается к подложке и опорные столбики удерживают мембрану от перемещения с целью избежания отказа или поломки мембраны. Количество опорных столбиков может быть различным, например четыре или шестнадцать. На подложку может быть нанесен тонкий слой диоксида кремния для компенсирования небольшого перемещения опорных столбиков для уменьшения напряжения, возникающего в мембране при возрастании избыточного давления. Технический результат заключается в обеспечении надежной защиты мембраны от разрушения под воздействием чрезмерного давления. 6 з.п. ф-лы, 6 ил.

Вернуться к списку