На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2134869 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01L009/04 G01L009/06 | Аналоги изобретения: | 1. SU, авторское свидетельство, 1039414, G 01 D 5/249, 1981. 2. Electronic Engineering. - 1993, January, с. 12 и 14. |
Имя заявителя: | Астраханский государственный технический университет | Изобретатели: | Резник Д.А. Петрова И.Ю. Зарипов М.Ф. | Патентообладатели: | Астраханский государственный технический университет |
Реферат | |
Изобретение относится к преобразователям давления в дискретный электрический сигнал и может быть использовано автоматизированных системах управления. Цель изобретения - повышение точности измерений, расширение диапазона измерений и упрощение технологии изготовления. Сущность изобретения: в известное устройство вводятся силовые чувствительные резисторы в виде структуры встречно-штырьевых электродов, которые наносятся на полупроводниковую подложку, причем электрод-затвор в данном устройстве выполнен из синтетического проводящего материала, например эластомера. Технологическая операция по нанесению слоя диэлектрика значительно упрощается, так как он наносится сплошным слоем, а не фрагментарно. Изобретение позволяет увеличить точность и диапазон измерений и упростить технологию изготовления. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.
|