На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ | ![](Images/non.gif) |
Номер публикации патента: 2082127 | ![](Images/empty.gif) |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01L009/04 | Аналоги изобретения: | 1. Патент ФРГ N 3436440, кл. G 01 L 9/06,1986. 2. Патент ГДР N 225501, кл. G 01 L 9/06, 1985. |
Имя заявителя: | Научно-производственное предприятие "Персей" | Изобретатели: | Тиняков Ю.Н. Михайленко В.А. | Патентообладатели: | Научно-производственное предприятие "Персей" |
Реферат | ![](Images/empty.gif) |
Использование: изобретение относится к датчикам давления, включающих полупроводниковый чувствительный элемент, выполненный по планарной микроэлектронной технологии, и может быть применено для измерения абсолютного, избыточного и разности давлений. Изобретение направлено на увеличение надежности конструкции при механических воздействиях, уменьшение дополнительной погрешности от монтажных и термомеханических напряжений, упрощение конструкции и снижение трудоемкости при изготовлении датчика давления. Сущность изобретения: датчик давления содержит полупроводниковый чувствительный элемент 1 с тензорезисторами, соединенный с кремниевой или стеклянной пластиной 2, герметично соединенные корпус 4 и крышку 5, в пространстве между которыми размещается герметично закрепленная эластичная гофрированная мембрана 6, имеющая металлические токоведущие дорожки 7 и контактные площадки 8, соединенные пайкой с контактными площадками полупроводникового чувствительного элемента 1. Новым в конструкции датчика является наличие эластичной мембраны 6, на которой методом поверхностного монтажа установлен полупроводниковый чувствительный элемент 1, полностью развязанный от корпуса датчика. 2 ил.
|