SU 987430 A1, 07.01.1983. SU 1182289 A1, 30.09.1985. SU 1655193 A1, 30.01.1994. RU 2301977 C1, 27.06.2007. DE 10238163 A1, 26.02.2004.
Имя заявителя:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Изобретатели:
Волохов Игорь Валерианович (RU) Ворожбитов Анатолий Иванович (RU) Лашманова Валентина Ивановна (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Научно-исследовательский институт физических измерений" (RU)
Реферат
Изобретение относится к электронной технике, в частности к технологии изготовления датчиков, преимущественно тонкопленочных тензометрических датчиков давления. Техническим результатом изобретения является повышение качества и надежности упругого элемента датчика давления (УЭ ДД), повышение стабильности начального выходного сигнала УЭ ДД и выявление скрытых дефектов в тонкопленочной гетероструктуре на ранних стадиях изготовления УЭ ДД. Способ стабилизации упругого элемента датчика давления с тензорезисторами заключается в термостабилизации упругого элемента с одновременным циклическим разогревом тензорезисторов до температур, обеспечивающих их высокотемпературный отжиг, и контроле выходного сигнала по скорости изменения величин начального выходного сигнала при температуре 80°С. Замеряют начальный выходной сигнал U0 в нормальных условиях при рабочем напряжении питания. Помещают упругий элемент в сушильный шкаф при температуре 80°C с одновременной подачей на схему повышенного напряжения питания. По истечении одного часа устанавливают рабочее напряжение питания. Выдерживают упругий элемент в течение пяти минут, замеряют начальный выходной сигнал U0ti. Проводят еще четыре таких цикла, упругий элемент остужают в течение одного часа. Замеряют снова начальный выходной сигнал при рабочем напряжении питания и проводят отбраковку нестабильных тензорезисторов. Скорость измерения начального выходного сигнала определяют по соответствующей формуле. Термостабилизацию проводят при температуре 50°C с одновременным воздействием повышенного давления на мембрану. 2 ил., 2 табл.
Поиск патентов
Получить полное описание патента