|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ В КРЕМНИЕВОЙ СТРУКТУРЕ ПЛЕНКА SiO |  |
Номер публикации патента: 2345337 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01L001/24 | | Аналоги изобретения: | SU 605487 А, 23.12.1981. SU 1442012 A1, 09.08.1995. JP 3051729 A, 06.03.1991. WO 96/23205 A1, 01.08.1996. WO 2005/119192 A2, 15.12.2005. |
| Имя заявителя: | Производственное республиканское унитарное предприятие "Завод полупроводниковых приборов" (BY) | | Изобретатели: | Сенько Сергей Федорович (BY)
Белоус Анатолий Иванович (BY)
Пономарь Владимир Николаевич (BY) | | Патентообладатели: | Производственное республиканское унитарное предприятие "Завод полупроводниковых приборов" (BY) |
Реферат | |
Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов ИС и дискретных полупроводниковых приборов. Техническим результатом изобретения является расширение технических возможностей способа за счет обеспечения возможности контроля направления вектора механических напряжений.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента