SU 1081448 А, 23.03.1984. RU 2362133 C1, 20.07.2009. SU 1525506 A1, 30.11.1989. RU 2258914 C2, 20.08.2005. DE 102005053876 A1, 24.05.2007.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") (RU)
Изобретатели:
Бялик Александр Яковлевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительным приборам и может быть использовано для измерения малых величин абсолютных давлений. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерения малых давлений и при перегрузках, многократно превышающих диапазон измеряемого давления. Датчик абсолютного давления состоит из вакуумной камеры, образованной корпусом датчика и мембраной, соединенной штоком с концом рычага мембранно-рычажного тензопреобразователя, размещенного внутри вакуумной камеры, имеющей упор, предохраняющий мембрану от перегрузки. Вакуумная камера в выполнена Э-образного сечения. Тензопреобразователь выполнен с Т-образным сечением. В верхней части тензопреобразователя расположена мембрана с прикрепленным чувствительным элементом со сформированным электрическим мостом Уинстона из тонкопленочных кремниевых тензорезисторов. Конец рычага тензопреобразователя расположен в нижней части камеры напротив мембраны корпуса. 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента