Савельев Юрий Витальевич (RU) Калинин Владимир Анатольевич (RU) Поляков Александр Владимирович (RU)
Патентообладатели:
Открытое акционерное общество "Авангард" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, предназначено для измерения давления жидких и газообразных сред и может быть использовано в средствах автоматизации контроля технологических процессов сложных технических систем топливоэнергетического комплекса, АЭС, автомобильного и железнодорожного транспорта и других отраслях промышленности. Техническим результатом изобретения является повышение чувствительности ПАВ структуры в первичном чувствительном элементе. Барочувствительный элемент содержит мембрану с выборкой, жестко скрепленную с основанием через прокладку с образованием между мембранной и основанием герметичной вакуумированной полости, внутри которой над выборкой своими концами жестко присоединен пьезоэлемент. Соотношение геометрических размеров диаметра выборки в мембране и внутреннего диаметра прокладки меньше или равно 0,5. Пьезоэлемент выполнен из ПАВ структуры и установлен с возможностью его продольного сжатия-растяжения. Кристаллографические оси мембраны, прокладки, основания и пьезоэлемента из ПАВ структуры ориентированы одинаково. Контакты пьезоэлемента из ПАВ структуры выведены из вакуумированной полости наружу нанесенными на мембрану высокочастотными электродами, согласованными с антенной в полосе частот отклика ПАВ структуры. 6 ил.