Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") (RU)
Изобретатели:
Романов Александр Иванович (RU) Барбатунов Вячеслав Григорьевич (RU) Панфёров Дмитрий Владимирович (RU) Уткин Дмитрий Иванович (RU) Лысенко Андрей Анатольевич (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт автоматики им. Н.Л. Духова" (ФГУП "ВНИИА") (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к тензорезистивным датчикам давления, и предназначено для измерения разности давления жидкости и газов. Техническим результатом изобретения является повышение стабильности датчика разности давлений. Датчик разности давления содержит корпус, в котором выполнены две полости, заполненные малосжимаемой электроизоляционной жидкостью. Каждая полость загерметизирована воспринимающей давление профилированной мембраной, расположенной с зазором относительно корпуса. Между полостями в корпусе герметично закреплен полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент. В датчик разности давлений введен второй полупроводниковый тензорезистивный чувствительный элемент, установленный между полостями встречно первому полупроводниковому тензорезистивному чувствительному элементу, а также сильфоны и пружины сжатия, предохраняющие чувствительные элементы от разрушения. 1 ил.