|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДАТЧИК АБСОЛЮТНОГО ДАВЛЕНИЯ С МИКРООБРАБОТАННОЙ ПОВЕРХНОСТЬЮ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ |  |
Номер публикации патента: 2258914 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01L009/12 B81C001/00 | | Аналоги изобретения: | US 4838088, 13.06.1989. ЕР 0727650 А2, 21.08.1996. RU 2147119 C1, 27.03.2000. RU 2120117 C1, 10.10.1998. |
| Имя заявителя: | ВАЙСАЛА ОЙЙ (FI),ВАЛТИОН ТЕКНИЛЛИНЕН ТУТКИМУСКЕСКУС (FI) | | Изобретатели: | БЛОМБЕРГ Мартти (FI) | | Патентообладатели: | ВАЙСАЛА ОЙЙ (FI)
ВАЛТИОН ТЕКНИЛЛИНЕН ТУТКИМУСКЕСКУС (FI) |
Реферат | |
Сущность: датчик содержит, по меньшей мере, один фиксированный электрод (3) и, по меньшей мере, один подвижный электрод (6, 7), электрически изолированный и пространственно отделенный (10) от указанного электрода (3). Согласно изобретению часть подвижного электрода (6, 7) сформирована из пористого слоя (6) поликристаллического кремния, причем указанный слой в полностью собранном компоненте остается в качестве интегральной части указанного гибкого электрода (6, 7).
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента