На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ВАКУУМА | |
Номер публикации патента: 2175438 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01L021/32 | Аналоги изобретения: | US 3341770 A, 12.09.1967. US 4902977 С1, 20.02.1990. US 5739419 A, 14.04.1998. КУЗЬМИН В.В. и др. Вакуумметрическая аппаратура техники высокого вакуума и течеискания. -М.: Энергоатомиздат, 1984, с.76-79, ГРОШКОВСКИЙ Я. Техника высокого вакуума. - М.: Мир, 1975, с.374-387. DE 3628847 А1, 03.03.1988. SU 323685 A, 10.12.1971. SU 538260 A, 05.12.1976. |
Имя заявителя: | Дубинов Александр Евгеньевич | Изобретатели: | Дубинов А.Е. Дубинова И.Д. Львов И.Л. Михеев К.Е. | Патентообладатели: | Дубинов Александр Евгеньевич Дубинова Ирина Дмитриевна Львов Игорь Львович Михеев Константин Евгеньевич |
Реферат | |
Изобретение относится к технике измерения глубокого вакуума в диапазоне давлений 10-4 - 10-12 Торри и может быть использовано при создании соответствующих вакуумметров. Данный способ заключается в том, что в полость, в которой проводят измерение вакуума, инжектируют электронный пучок, формируя в нем виртуальный катод, измеряют длительность времени его релаксации, происходящих за счет ионизации остаточного газа, а по длительности времени релаксации вычисляют давление, при этом длительность времени релаксации виртуального катода определяют путем измерения длительности импульса СВЧ-излучения из области виртуального катода. Данное изобретение позволяет обеспечить дистанционность измерения вакуума. 1 ил.
|