|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ДАТЧИК ТЕПЛОВОГО ПОТОКА |  |
Номер публикации патента: 2242728 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01K007/02 | | Аналоги изобретения: | SU 1509635 A1, 23.09.1989. SU 678345 A, 05.08.1979. RU 2084987 С1, 20.07.1994. RU 2085874 С1, 27.07.1997. |
| Имя заявителя: | Новосибирский государственный технический университет (RU) | | Изобретатели: | Величко А.А. (RU)
Илюшин В.А. (RU)
Филимонова Н.И. (RU) | | Патентообладатели: | Новосибирский государственный технический университет (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области микроэлектроники и оптоэлектроники. Датчик содержит кремниевую подложку, на которой последовательно расположены мембрана и термопары. Горячие и холодные спаи термопар расположены на тонкой и толстой части мембраны. Термопары соединены в батарею. При этом термопары выполнены из монокристаллического кремния и алюминия, а мембрана выполнена из монокристаллической диэлектрической пленки фторида кальция.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента