Изобретение относится к теплометрии и может быть использовано при обнаружении теплового излучения. Устройство содержит по меньшей мере одну мембрану, на которой расположен по меньшей мере один датчик тепла для преобразования теплового излучения в электрический сигнал и по меньшей мере одну подложку контура, несущую мембрану, и по меньшей мере один считывающий контур для считывания электрического сигнала. Датчик электрически связан через мембрану со считывающим контуром посредством сквозного контакта. Изобретение также относится к способу изготовления указанного устройства, содержащему следующие шаги: берут мембрану с датчиком и по меньшей мере одним сквозным электрическим контактом, а также подложку контура и собирают мембрану и подложку контура таким образом, что проходящий через мембрану сквозной контакт замыкает электрическую цепь между датчиком и считывающим контуром. Предпочтительно устройства изготавливают в виде схем на общих пластинах. Такие функциональные кремниевые пластины собирают в стопу, надежно соединяют, а затем отдельные готовые устройства разделяют. В качестве датчиков предпочтительно используют пироэлектрические датчики. Устройство, согласно изобретению, используют в качестве датчика движения, датчика присутствия и в качестве тепловизоров. Технический результат: повышение точности и информативности теплометрических измерений. 2 н. и 13 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента