WO 2007000172 A1, 04.01.2007. US 2005274892 A1, 15.12.2005. US 2005179102 A1, 18.08.2005. US 2004173751 A1, 09.09.2004. DE 102004020685 B3, 01.09.2005. WO 0243154 A1, 30.05.2002. DE 100004216 А1, 09.08.2001. RU 2180098 C2, 27.02.2002.
Устройство (1) для обнаружения теплового излучения в виде стопы (10) из: по меньшей мере одной подложки (11) датчика, содержащей датчик (111) для преобразования теплового излучения в электрический сигнал; по меньшей мере одной подложки (12) контура с по меньшей мере одним считывающим контуром (121, 122) для считывания электрического сигнала; по меньшей мере одной крышки (13), покрывающей датчик; в котором для каждого из указанных элементов: крышка (13), подложка (12) и подложка (11) датчика используется соответствующая пластина; причем подложка датчика помещена между подложкой контура и крышкой; причем указанная стопа (10) представляет собой слоистую структуру; причем подложка датчика и крышка расположены друг относительно друга так, что между датчиком на подложке и крышкой имеется по меньшей мере одна первая полость (14), ограниченная подложкой датчика и крышкой; подложка контура и подложка датчика расположены друг относительно друга так, что между ними имеется по меньшей мере одна вторая полость (15), ограниченная этими подложками; первая и/или вторая полости вакуумированы или выполнены с возможностью их вакуумирования. Также предложен способ изготовления указанного устройства. Устройство согласно изобретению используют в датчиках движения, датчиках присутствия и в тепловизорах. Изобретение обеспечивает возможность создания компактного устройства для обнаружения теплового излучения, которое имеет уменьшенные по сравнению с известными габариты. 3 н. и 12 з.п. ф-лы, 3 ил.