Изобретение относится к измерительной технике. Пассивный микроболометр (12) содержит отражающий экран (17) и подвешенную мембрану с функцией поглотителя излучения, термометр и электрическое соединение. Мембрана поддерживается, по меньшей мере, двумя элементами (15) крепления, установленными на опорной подложке (16). Отражающий экран (17) может быть выполнен на основе, по меньшей мере, одного слоя (18) металлического материала. Экран (17) расположен ниже мембраны в электрическом контакте с мембранным элементом (13) поглощения излучения. Технический результат - изготовление защитного экрана, интегрировано в процесс изготовления пассивного микроболометра. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 7 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента