На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
БОЛОМЕТРИЧЕСКИЙ РЕЗИСТИВНЫЙ ЭЛЕМЕНТ | |
Номер публикации патента: 2258207 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01J005/20 | Аналоги изобретения: | AKIO TANAKA E.A.Infrared Focal Plane Array Incorporating Silicon IC Process Compatible Bolometer. IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES. 1996, vol.43, no.11, pp.1844-1848. RU 2069324 C1, 20.11.1996. SU 206864 A, 25.01.1968. US 6426539 A, 30.07.2002. |
Имя заявителя: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (RU) | Изобретатели: | Бажинов А.Н. (RU) Жуков А.Г. (RU) Рябов В.Н. (RU) | Патентообладатели: | Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное предприятие "Исток" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к технике измерений. Термочувствительный слой элемента выполнен из нитрида титана толщиной 0,003-0,015 мкм. Внутри мембраны над термочувствительным слоем и отделенным от него диэлектрическим слоем мембраны выполнен слой, поглощающий инфракрасное излучение. На лицевой стороне подложки выполнен слой, отражающий инфракрасное излучение, при этом расстояние между термочувствительным и поглощающим слоями обеспечивает электрическую изоляцию между ними и определяется диэлектрическим
|