На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ДИФРАКЦИОННЫЙ ИК - СПЕКТРОМЕТР ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК | |
Номер публикации патента: 1514046 | |
Редакция МПК: | 6 | Основные коды МПК: | G01J003/18 | Аналоги изобретения: | Жижин Г.Н. и др. Атоматизированный спектрометр поверхностных электромагнитных волн ИК-диапазона. Препринт N 6, ИСАН, 1982. Воронов С.А. и др. Дифракция ПЭВ при распространении вдоль штрихов дифракционной решетки большого периода. Журнал технической физики, 1984, т. 54, N 12, с. 2391-2394. |
Имя заявителя: | Институт спектроскопии АН СССР | Изобретатели: | Жижин Г.Н. Сычугов В.А. Силин В.И. Яковлев В |
Реферат | |
Изобретение относится к оптическому спектральному приборостроению. Целью изобретения является повышение чувствительности и уменьшение габаритов. Излучение от источника 4, обеспечивающего преобразование объемного излучения в поверхностную электромагнитную волну (ПЭВ), распространяется по поверхности металлизированной пластины 1, коллимируется цилиндрическим зеркалом 2 и направляется на диспергирующий элемент 3. Зеркало 2 фокусирует диспергированное излучение на приемник 5. Все оптические элементы размещены на поверхности металлизированной пластины 1. Образец может быть размещен в любом месте на пути распространения пучка от источника до приемника излучения. Использование ПЭВ в качестве зондирующего излучения позволяет повысить чувствительность при измерении характеристик тонких пленок (10 - 100 ) не менее чем в 10 раз и уменьшить линейные размеры до 3х5 см2. 1 ил.
|