SU 1820201 A1, 07.06.1993. RU 2237884 C1, 10.10.2004. SU 1237926 A1, 15.06.1986. JP 2006138862 A, 01.06.2006. JP 2141626 A, 31.05.1990.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Изобретатели:
Лапенко Вадим Николаевич (RU) Тимошенков Сергей Петрович (RU) Кик Михаил Андреевич (RU) Кик Дмитрий Андреевич (RU) Пасютин Антон Викторович (RU) Чаплыгин Юрий Александрович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Реферат
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для контроля качества микромеханических элементов. Способ измерения резонансных частот МЭМС, включающий закрепление МЭМС на подвижной части вибростенда, которая приводится в колебательное движение с переменной частотой, излучение от линейного источника света направляется на МЭМС, причем ось вдоль длинной стороны линейного источника света параллельна оси поворота МЭМС, контролируется отраженное изображение в виде линии, при этом момент резонанса фиксируется по максимальной величине ширины линии, отраженной от контролируемого МЭМС. Технический результат - повышение точности контроля МЭМС элементов, уменьшение времени измерения. 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента