RU 2244271 C1, 10.01.2005. RU 2316731 C1, 10.02.2008. JP 2007187494 A, 26.07.2007. WO 2007045664 A1, 26.04.2007. US 6199874 B1, 13.03.2001.
Имя заявителя:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Изобретатели:
Тимошенков Сергей Петрович (RU) Лапенко Вадим Николаевич (RU) Кик Михаил Андреевич (RU) Кик Дмитрий Андреевич (RU) Пасютин Антон Викторович (RU)
Патентообладатели:
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU)
Реферат
Изобретение относится к микромеханике и предназначено для измерения частотных характеристик подвижных элементов микромеханических устройств. Способ включает формирование на неподвижных обкладках конденсатора гармонических сигналов с постоянной составляющей при установке на подвижной обкладке постоянного смещения, равного нулю. При этом выделяется вторая гармоника суммы зарядов, протекающих через конденсаторы, образованные подвижной и неподвижной обкладками чувствительного элемента. Амплитудно-частотная характеристика микромеханического устройства определяется отношением второй гармоники полученной суммы зарядов к первой гармонике сигнала, сформированного на обкладках конденсатора. Изобретение позволяет расширить функциональные возможности и повысить точность измерения амплитудно-частотных характеристик. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента