|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ КОНТРОЛЯ КАЧЕСТВА ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ |  |
Номер публикации патента: 2244271 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01H011/06 B81C005/00 | | Аналоги изобретения: | WO 00/63659 A1, 26.10.2000. US 6232790 B1, 15.05.2001. US 6116766 А, 12.09.2000. RU 2105652 C1, 27.02.1998. |
| Имя заявителя: | ФГУП Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU) | | Изобретатели: | Некрасов Я.А. (RU)
Моисеев Н.В. (RU) | | Патентообладатели: | ФГУП Центральный научно-исследовательский институт "Электроприбор" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к контролю качества микромеханических устройств, используемых в акселерометрах, гироскопах, датчиках давления. Способ используется для микромеханических устройств, содержащих подвижный элемент, электростатический задатчик силы и датчик перемещения подвижного элемента. Способ включает формирование гармонических сигналов на входе задатчика силы и измерении гармонических сигналов на выходе датчика перемещения.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента