SU 1216640 A, 07.03.1984. SU 1663413 A1, 15.07.1991. SU 1226044 A, 24.10.1984. RU 95108213 A1, 21.03.1995. RU 94036133 A1, 27.07.1996. US 6822749 В1, 23.11.2004. JP 11183124 А, 09.07.1999.
Имя заявителя:
Корпорация "САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко., Лтд." (KR)
Изобретатели:
Ширанков Александр Федорович (RU) Хорохоров Алексей Михайлович (RU) Штыков Станислав Александрович (RU) Аниканов Алексей Григорьевич (RU)
Патентообладатели:
Корпорация "САМСУНГ ЭЛЕКТРОНИКС Ко., Лтд." (KR)
Реферат
Способ бесконтактного измерения размеров малых объектов осуществляют с помощью устройства, содержащего вариообъектив, который выполнен в виде одного неподвижного, а также первого и второго подвижных компонентов. Рассматриваемый объект размещают в задней фокальной плоскости вариообъектива. В задней фокальной плоскости неподвижного компонента вариобъектива размещают две калиброванные рамки. Осуществляют последовательное совмещение изображения объекта с изображениями двух рамок и фиксацию положения подвижного компонента при этих совмещениях. Вычисление размера объекта производят по двум зафиксированным положениям подвижного компонента, по размеру рамок и конструктивным параметрам вариообъектива. Технический результат заключается в обеспечении высокой точности измерений линейных размеров небольших объектов. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 2 ил.