JP 11118471 А, 30.04.1999. RU 2305270 С2, 27.08.2007. RU 2269116 С2, 27.01.2006. WO 0114250 А2, 01.03.2001. WO 2004010121 A1, 29.01.2004.
Имя заявителя:
Базыленко Валерий Андреевич (RU), Бацев Сергей Владимирович (RU), Давлетшин Ильдар Загитович (RU), Мордвинцева Людмила Викторовна (RU), Тимошенко Виктор Юрьевич (RU), Уласевич Михаил Степанович (RU)
Изобретатели:
Базыленко Валерий Андреевич (RU) Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Мордвинцева Людмила Викторовна (RU) Тимошенко Виктор Юрьевич (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Патентообладатели:
Базыленко Валерий Андреевич (RU) Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Мордвинцева Людмила Викторовна (RU) Тимошенко Виктор Юрьевич (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Реферат
Способ контроля шероховатости поверхности включает зондирование поверхности с помощью лазерного излучения и регистрацию интенсивности фотолюминесценции с использованием фоточувствительных устройств. Шероховатую поверхность покрывают слоем частиц наноразмерного уровня. В качестве детектируемого информационного признака используют характерную фотолюминесценцию этих частиц, индуцируемую зондирующим лазерным излучением. Контроль шероховатости поверхности осуществляют по изменению характера интенсивности фотолюминесценции при изменении значений угла между осью зондирующего излучения и нормалью к шероховатой поверхности. Технический результат - интегральная оценка шероховатости, локальная оценка интересующего участка и автоматизация процесса контроля. 6 з.п. ф-лы, 6 ил., 2 табл.