|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| РЕНТГЕНОВСКИЙ РЕФЛЕКТОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2129698 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B015/00 G01B015/08 G01N023/20 | | Аналоги изобретения: | 1. SU 859810 A, 02.09.81. 2. SU 672480 A, 09.07.79. 3. The New Siemens x-Ray Reflectometer. A Tool with Outstanding Capabilieties. Siemens Analytical Application Note N 337, Maerz 1, (1994). |
| Имя заявителя: | Турьянский Александр Георгиевич | | Изобретатели: | Турьянский А.Г.
Великов Л.В.
Виноградов А.В.
Пиршин И.В. | | Патентообладатели: | Турьянский Александр Георгиевич |
Реферат | |
Рентгеновский рефлектометр может быть использован для контроля шероховатости оптически гладких поверхностей, состава и толщины тонких пленок, а также для определения толщины и плоскостности подложек. Рефлектометр содержит источник рентгеновского излучения, два формирователя рентгеновских пучков, каждый из которых состоит из дифракционного элемента с собственной осью поворота и средства коллимации, держатель образца, выполненный с возможностью поворота вокруг собственной оси, и координатно-чувстви
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента