|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ИНТЕНФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ПРЯМОЛИНЕЙНОСТИ И ПЛОСКОСТНОСТИ ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА |  |
Номер публикации патента: 980507 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | SU | | Рег. номер заявки: | 3285310 |
|
|
|
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B009/02 G01B011/30 | | Аналоги изобретения: | 1. Авторское свидетельство СССР N 508116, кл. G 01 B 9/02, 20.04.71. 2. Авторское свидетельство СССР N 756192, кл. G 01 B 9/02; G 01 B 11/30, 25.05.78. |
| Имя заявителя: | | | Изобретатели: | Духопел И.И.
Мышкина Н.Е.
Рассудова Г.Н.
Сердюк С.Г.
Серегин |
Реферат | |
1. Интерферометр для контроля прямолинейности и плоскостности поверхности объекта, содержащий источник монохроматического света, телескопическую систему, расширяющую световой пучок и включающую микрообъектив, светоделитель, коллиматорный объектив и светоделительную дифракционную решетку, плоскую отражательную дифракционную решетку, отстоящую от светоделительной дифракционной решетки на расстоянии, превышающем размер контролируемой поверхности объекта, и регистрирующее устройство, отличающийся тем, что, с целью повышения точности контроля, упрощения конструкции и уменьшения габаритов, коллиматорный объектив и светоделительная дифракционная решетка выполнены в виде одной вогнутой отражательной дифракционной решетки, оптическая ось которой составляет с оптической осью плоской отражательной дифракционной решетки угол, равный углу дифракции вогнутой отражательной дифракционной решетки. 2. Интерферометр по п.1, отличающийся тем, что отношение частоты штрихов вогнутой отражательной дифракционной решетки к частоте штрихов плоской отражательной дифракционной решетки равно 1 : 8.
|
Поиск патентов