|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
| ОПТИЧЕСКИЙ ПРОФИЛОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 94036722 |  |
| Вид документа: | A1 | | Страна публикации: | RU | | Рег. номер заявки: | 94036722 |
|
|
|
| Имя заявителя: | Нижегородский центр инкубации наукоемких технологий | | Изобретатели: | Кожеватов И.Е.
Куликова Е.Х.
Черагин Н. |
Реферат | |
Разработанный оптический профилометр обеспечивает высокую точность измерений, а также возможность исследования поверхностей больших линейных размеров (порядка метра). Это достигается тем, что в разработанном оптическом профилометре реализовано сочетание преимуществ оптических устройств, использующих белый свет, а именно отсутствие дифракционных пространственных шумов (спеклов), и оптических устройств, использующих интерференционно-фазовые методы измерений. Это и обеспечивает достижение необходимого технического результата - повышение точности измерений. Другим достигаемым техническим результатом является возможность исследования поверхностей существенно больших размеров, чем это позволяют другие известные профилометры, т.к. размер исследуемой поверхности ограничен только конкретной реализацией используемого блока сопряжения. Это позволяет использовать разработанный оптический профилометр для бесконтактных измерений при метрологическом обеспечении субнанометровых технологий.
|
Поиск патентов