US 6701633 B2, 09.03.2004. JP 2006275826 A, 12.10.2006. US 2008055598 A1, 06.03.2008. RU 2263879 C2, 10.11.2005.
Имя заявителя:
Вишняков Геннадий Николаевич (RU), Левин Геннадий Генрихович (RU)
Изобретатели:
Вишняков Геннадий Николаевич (RU) Левин Геннадий Генрихович (RU)
Патентообладатели:
Вишняков Геннадий Николаевич (RU) Левин Геннадий Генрихович (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к профилометрии, топографии. Способ измерения формы поверхности трехмерного объекта заключается в использовании матрицы зондов, содержащих в верхней части жестко закрепленные светоотражательные элементы, размещенных в обойме с множеством параллельных направляющих, расположенных в узлах двумерной сетки с известными координатами Xi,Yi точек контакта каждого зонда относительно центра обоймы, позволяющих каждому зонду свободно двигаться вдоль оси Z, перпендикулярной измеряемой поверхности. Предварительно осуществляют калибровку матрицы зондов по высоте путем измерения координат Zi каждого зонда в положении контакта всех зондов с эталонной плоской гладкой поверхностью, нормаль к которой совпадает с Z направлением. При взаимном перемещении исходного трехмерного объекта и обоймы с матрицей зондов в плоскости XY измеряют координаты Xo,Yo центра обоймы и координат Zoi каждого зонда в положении контакта всех зондов с объектом, формы поверхности вычисляют на основании данных о разности указанных выше координат Xo-X i, Yo-Yi, Zoi-Zi и повторяют измерения при необходимости. Технический результат заключается в обеспечении возможности измерения формы поверхности динамических объектов, в повышении точности измерений высоты трехмерных объектов и в уменьшении времени сканирования. 2 з.п. ф-лы, 2 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента