Бацев Сергей Владимирович (RU), Давлетшин Ильдар Загитович (RU), Самутина Елена Павловна (RU), Уласевич Михаил Степанович (RU)
Изобретатели:
Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Самутина Елена Павловна (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Патентообладатели:
Бацев Сергей Владимирович (RU) Давлетшин Ильдар Загитович (RU) Самутина Елена Павловна (RU) Уласевич Михаил Степанович (RU)
Реферат
Настоящее изобретение касается способа контроля шероховатости поверхности. Заявленный способ заключается в том, что осуществляют зондирование поверхности с помощью лазерного излучения и регистрацию интенсивности генерации отраженной гигантской второй гармоники с использованием фоточувствительных устройств. При этом шероховатую поверхность покрывают слоем частиц наноразмерного уровня, в качестве детектируемого информационного признака используют генерацию отраженной гигантской второй гармоники, индуцируемую зондирующим лазерным излучением, а контроль шероховатости поверхности осуществляют по изменению характера интенсивности отраженной гигантской второй гармоники при изменении значений угла между осью зондирующего излучения и нормалью к шероховатой поверхности. При контроле шероховатости возможно определение характеристик шероховатости по известным размерам частиц наноразмерного уровня. В качестве материала частиц наноразмерного уровня может быть использован полупроводник, например кремний, или металл, например серебро. Способ позволяет осуществлять контроль как локальных участков поверхности, так и всей поверхности в целом путем сканирования ее локальных участков. Технический результат - повышение точности интегральной оценки шероховатости и локальной оценки интересующего участка поверхности. 5 з.п. ф-лы, 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента