SU 172778 A1, 15.02.1992. SU 1295211 A1, 07.03.1987. RU 2155932 C1, 10.09.2000. JP 7198316 A, 01.08.1995.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (ФГУП "НПО ГИПО") (RU)
Изобретатели:
Ларионов Николай Петрович (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение "Государственный институт прикладной оптики" (ФГУП "НПО ГИПО") (RU)
Реферат
Интерферометр содержит источник монохроматического излучения, афокальную систему и первый светоделитель, предназначенный для разделения излучения на две ветви - эталонную и рабочую. В эталонной ветви установлены плоское зеркало, фокусирующий объектив и объектив для формирования эталонного плоского волнового фронта. В рабочей ветви по ходу отраженных от первого светоделителя лучей установлены второе плоское зеркало, второй фокусирующий объектив, в заднем фокусе которого установлена диафрагма, и объектив для формирования плоского контролируемого волнового фронта с возможностью вывода его из рабочей ветви. После объектива, формирующего эталонный плоский волновой фронт, установлен второй светоделитель для совмещения эталонного и контролируемого волновых фронтов. В выходном пучке световых лучей установлен блок регистрации интерференционной картины, содержащий входной объектив и фотоприемное устройство. После второго светоделителя перпендикулярно к прошедшим его лучам светового пучка эталонного волнового фронта, установлено третье плоское зеркало. Фокусирующий объектив в эталонной ветви выполнен с возможностью перемещения вдоль оптической оси, в переднем фокусе объектива для формирования плоского контролируемого волнового фронта установлена вторая диафрагма с возможностью вывода ее из рабочей ветви. Технический результат заключается в повышении надежности контроля асферических поверхностей второго порядка за счет обеспечения автономного поверочного контроля плоскостности эталонного волнового фронта средствами, входящими в состав интерферометра. 4 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента