На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ТЕСТОВАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ ОЦЕНКИ РАДИУСА КРИВИЗНЫ ОСТРИЯ ИГЛЫ КАНТИЛЕВЕРА СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ | |
Номер публикации патента: 2335735 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B011/255 | Аналоги изобретения: | RU 2121130 С1, 27.10.1998. ЕР 0676614 А, 11.10.1995. RU 2001135713 А, 20.11.2003. RU 2121656 A, 10.11.1998. FR 2704643 A, 04.11.1994. |
Имя заявителя: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) | Изобретатели: | Белов Алексей Николаевич (RU) Гаврилов Сергей Александрович (RU) Орлов Игорь Юрьевич (RU) Тихомиров Алексей Александрович (RU) Шевяков Василий Иванович (RU) | Патентообладатели: | Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Московский государственный институт электронной техники (технический университет) (RU) |
Реферат | |
Тестовая структура для оценки радиуса кривизны острия иглы кантилевера сканирующей зондовой микроскопии состоит из основания, на котором размещены вертикально расположенные острия. Основание содержит приповерхностный слой, имеющий рельефную ячеистую структуру с плотной упаковкой, соседние ячейки имеют общую стенку.
|