На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ПРОФИЛЯ ПОВЕРХНОСТИ | |
Номер публикации патента: 2245515 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B011/30 | Аналоги изобретения: | RU 2145109 A, 27.01.2000. RU 2000125117 A, 27.09.2002. RU 2166730 C1, 10.05.2001. ЕР 0884560 А, 16.12.1998. DE 3443175 A, 27.06.1985. US 5355221 A, 11.10.1994. |
Имя заявителя: | Конструкторско-технологический институт научного приборостроения (статус государственного учреждения) (RU) | Изобретатели: | Сысоев Е.В. (RU) Голубев И.В. (RU) | Патентообладатели: | Конструкторско-технологический институт научного приборостроения (статус государственного учреждения) (RU) |
Реферат | |
Способ измерения профиля поверхности включает получение набора интерферограмм контролируемой поверхности при сканировании ее низкокогерентным источником излучение и восстановление по ним исходного профиля контролируемой поверхности. При этом с получением каждой основной интерферограммы снимают дополнительную интерферограмму при сдвиге опорной поверхности на дробную часть длины волны, после чего из сигнала основной интерферограммы вычитают сигнал дополнительной интерферограммы с получением диффере
|