|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ВИДЕОИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2233430 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/06 G01B009/02 | | Аналоги изобретения: | SU 1742612 A1, 23.06.1993.RU 2141612 C1, 20.11.1999.ЕР 0762077 А, 12.03.1997.ЕР 0293177 А, 30.11.1988. |
| Имя заявителя: | Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского (RU) | | Изобретатели: | Усанов Д.А. (RU)
Скрипаль А.В. (RU)
Скрипаль А.В. (RU)
Абрамов А.В. (RU)
Сергеев А.А. (RU)
Абрамов А.Н. (RU)
Коржукова Т.В. (RU) | | Патентообладатели: | Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского (RU) |
Реферат | |
Способ измерения толщины пленки включает освещение пучком излучения исследуемой поверхности, в качестве которой выбрано основание, на часть которого нанесена пленка, формирование интерференционной картины, состоящей из двух систем интерференционных полос, перемещение поверхности в направлении падения на нее излучения, фиксирование направления перемещения интерференционных полос и определение направления их изгиба относительно системы интерференционных полос в области основания, не покрытого пленк
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента