|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПЛЕНКИ |  |
Номер публикации патента: 2221989 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/06 | | Аналоги изобретения: | SU 102090 А, 12.01.1956. RU 2168151 C1, 27.05.2001. SU 670803 А, 30.06.1979. |
| Имя заявителя: | Российский университет дружбы народов | | Изобретатели: | Комоцкий В.А. | | Патентообладатели: | Российский университет дружбы народов |
Реферат | |
Изобретение относится к области технологии тонких пленок, а точнее к области контроля толщины тонких металлических пленок, нанесенных на подложку из диэлектрика или иного материала, и может быть использовано в микроэлектронике и оптике. Сущность изобретения: в способе измерения толщины металлической пленки, включающем формирование ступенчатой структуры на поверхности пленки, высота которой равна толщине пленки, напыление на поверхность подложки со ступенькой слоя высокоотражающего металла и освещ
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента