|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКОЕ УСТРОЙСТВО ДЛЯ БЕСКОНТАКТНОГО ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ |  |
Номер публикации патента: 2147728 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B011/06 G01B009/02 | | Аналоги изобретения: | 1. W.DREXLER et al. Measurement of the thickness of fundus layers by partial coherence tomography. Optical Engineering. V.34, p.701-710, 1995. 2. US 5642196 A, 24.06.1997. 3. SU 1566204 A1, 23.05.90. |
| Имя заявителя: | Иванов Вадим Валерьевич | | Изобретатели: | Иванов В.В.
Катин Е.В.
Маркелов В.А.
Новиков М.А.
Тертышник А.Д. | | Патентообладатели: | Иванов Вадим Валерьевич
Катин Евгений Васильевич
Маркелов Вадим Арсеньевич
Новиков Михаил Афанасьевич
Тертышник Анатолий Данилович |
Реферат | |
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д. Изобретение позволяет увеличить точность измерения толщины непрозрачных объектов до долей длины волны используемого света, а также повысить точность измерений в условиях вибраций и акустических шумов. Для этого в интерферометрическое устройство, содержащее источник света (1) с малой длиной когерентности, измерительный интерферометр (2), светоделитель (3) и фотодетектор (9), введены расположенные последовательно, оптически связанные первый световод (4) и первое полупрозрачное зеркало (5), установленные между светоделителем (3) и первой поверхностью измеряемого слоя (6), а также расположенные последовательно, оптически связанные второй световод (7) и второе полупрозрачное зеркало (8), установленные между светоделителем (3) и второй поверхностью измеряемого слоя (6). При этом второй световод (7) оптически связан с первым световодом (4) через светоделитель (3). Первый световод (4) и первое полупрозрачное зеркало (5) ориентированы так, что свет, отраженный от первого полупрозрачного зеркала (5) и от первой поверхности измеряемого слоя (6), возвращается обратно в первый световод (4). Аналогично второй световод (7) и второе полупрозрачное зеркало (8) ориентированы так, что свет, отраженный от второго полупрозрачного зеркала (8) и от второй поверхности измеряемого слоя (6), возвращается обратно во второй световод 7. 8 з.п. ф-лы, 8 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента