|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| ОПТИЧЕСКИЙ ПРОФИЛОМЕТР |  |
Номер публикации патента: 2085840 |  |
| Редакция МПК: | 6 | | Основные коды МПК: | G01B011/30 | | Аналоги изобретения: | Патент США N 4641971, кл. G 01 B 9/02, 1987. |
| Имя заявителя: | Нижегородский центр инкубации наукоемких технологий | | Изобретатели: | Кожеватов И.Е.
Куликова Е.Х.
Черагин Н.П. | | Патентообладатели: | Нижегородский центр инкубации наукоемких технологий
Кожеватов Илья Емельянович
Куликова Елена Хусаиновна
Черагин Николай Петро |
Реферат | |
Использование: изобретение относится к измерительной технике. Техническим результатом использования является повышение точности измерений, а также возможность исследования поверхностей больших линейных размеров (порядка 1 м). Сущность изобретения: результат достигается тем, что в разработанном оптическом профилометре реализовано сочетание преимуществ оптических устройств, использующих белый свет, а именно отсутствие дифракционных пространственных шумов (спеклов), и оптических устройств, использующих интерференционно-фазовые методы измерений. Это и обеспечивает достижение необходимого технического результата - повышение точности измерений до значений не менее λ/1000 . Другим достигаемым техническим результатом является возможность исследования поверхностей существенно больших размеров, чем это позволяют другие известные профилометры, т.к. размер исследуемой поверхности ограничен только конкретной реализацией используемого блока сопряжения. Это позволяет использовать разработанный оптический профилометр для бесконтактных измерений при метрологическом обеспечении субнанометровых технологий. 3 з.п. ф-лы, 1 ил.
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента