SU 744221 А1, 30.06.1980. RU 2367062 С1, 10.09.2009. SU 1717946 А1, 07.03.1992. ЕР 1033561 В1, 31.07.2002. JP 9304006 А, 28.11.1997. JP 60195402 А, 03.10.1985.
Имя заявителя:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение им. С.А. Лавочкина" (RU)
Изобретатели:
Володин Николай Михайлович (RU) Каминский Владимир Васильевич (RU) Мишин Юрий Николаевич (RU) Павлинова Елена Евгеньевна (RU)
Патентообладатели:
Федеральное государственное унитарное предприятие "Научно-производственное объединение им. С.А. Лавочкина" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано в прочностных испытаниях для определения напряженного состояния конструкций и в качестве чувствительного элемента в датчиках механических величин (силы, давления, веса, перемещения и т.д.). Сущность: тензорезистор содержит полимерную подложку 1, носитель 2, выполненный из тонкой (3÷10 мкм) металлической (константан) фольги, сформированную на носителе 2 диэлектрическую разделительную пленку 3 (SiO) и выполненную на пленке 3 тензочувствительную пленку 4 из моносульфида самария (SmS) толщиной 0,5÷1 мкм. Носитель 2 представляет собой две площадки 5, соединенные нитями 6 шириной 50÷200 мкм каждая (форма решетки). Осажденные на носитель 2 последовательно диэлектрическая 3 и тензочувствительная 4 пленки также повторяют его форму. Контакты 7 выполнены, например, из никеля толщиной 1÷2 мкм и сформированы частично на площадках 5 и частично на нитях 7 тензочувствительной пленки 4, шунтируя ее. Незашунтированные части нитей 6 тензочувствительной пленки 4, являясь, собственно, резисторами, электрически соединены между собой параллельно. Полимерная подложка 1 (лак ВЛ-931 толщиной 20÷30 мкм) сформирована на обратной стороне носителя 2. Длина участков 8 металлических контактов 7, расположенных на нитях 6, одинакова или различна и от одной к другой изменяется по нелинейному или нелинейному закону. Технический результат: увеличение осевой чувствительности к деформации, уменьшение поперечной чувствительности и обеспечение возможности уменьшения электрического сопротивления тензорезистора и изменения его после наклейки путем обрыва нитей. 2 з.п. ф-лы, 8 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента