IWATA F., SARUTA K. , SASAKI A. «In situ atomic force microscopy combined with a quartz-crystal microbalance study of Ag electrodeposition on Pt thin film. Appl. Phys. A 66, S463-S466, 1998. US 2008/048114 A1, 28.02.2008. US 4883959 A, 28.11.1989. US 6038916 A, 21.03.2000. RU 2109369 C1, 20.04.1998.
Имя заявителя:
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Изобретатели:
Быков Андрей Викторович (RU) Шелаев Артем Викторович (RU)
Патентообладатели:
Закрытое акционерное общество "Нанотехнология-МДТ" (RU)
Реферат
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа. Также в предложенном устройстве предусмотрена возможность измерения массы тонкопленочного образца и диссипативных свойств тонкопленочного образца или жидкой среды измерения посредством пьезокварцевых микровесов, и возможна модификация поверхности объекта. Сущность изобретения заключается в том, что в сканирующий зондовый микроскоп, совмещенный с устройством измерения массы и диссипативных свойств, содержащий блок управления пьезокварцевых микровесов, сканирующее устройство с держателем зонда, зонд, систему регистрации, камеру и помещенный в камеру кварцевый резонатор, содержащий кварцевый диск, верхний и нижний электроды, введены оптическая система, XYZ позиционер и устройство для подачи напряжения между зондом и верхним электродом. Технический результат - расширение функциональных возможностей устройства. 13 з.п. ф-лы, 1 ил.
Поиск патентов
Получить полное описание патента