|
На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
| СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЯ РЕЛЬЕФА ПОВЕРХНОСТИ ОБЪЕКТА С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА |  |
Номер публикации патента: 2329465 |  |
| Редакция МПК: | 7 | | Основные коды МПК: | G01B007/34 G12B021/00 | | Аналоги изобретения: | New imaging mode in atomic-force microscopy based on the error signal. C.A.Putman, K.O. van der Werf, B.G. de Grooth, N.F. van Hulst, J. Greve, P.K. Nahsma, 1992, SPIE v.1639, p.198-204. US 5260572 A, 09.11.1993. RU 2145055 C1, 27.01.2000. RU 2175761 C2, 10.11.2001. |
| Имя заявителя: | ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU) | | Изобретатели: | Быков Андрей Викторович (RU)
Быков Виктор Александрович (RU)
Лесмент Станислав Игоревич (RU)
Рябоконь Валерий Николаевич (RU) | | Патентообладатели: | ЗАО "Нанотехнология-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Способ включает первое сканирование поверхности объекта с регистрацией сигнала вертикальных перемещений сканера и сигнала взаимодействия зонда с объектом, второе сканирование поверхности объекта в обратном направлении с регистрацией сигнала вертикальных перемещений сканера и сигнала взаимодействия зонда с объектом, вычитание из сигнала вертикальных перемещений сканера, зарегистрированного при сканировании в прямом направлении, сигн
|
Поиск патентов
Получить полное описание патента