На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ЗОНДОВЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ КВАРЦЕВОГО РЕЗОНАТОРА ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА | |
Номер публикации патента: 2297053 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G12B021/00 G01B007/34 | Аналоги изобретения: | RU 2208763 C1, 20.07.2003. ЕР 290647 А1, 17.11.1998. RU 2221287 С2, 10.01.2004. JP 9229948 A, 05.09.1997. |
Имя заявителя: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) | Изобретатели: | Соколов Дмитрий Юрьевич (RU) | Патентообладатели: | ЗАО "НТ-МДТ" (RU) |
Реферат | |
Изобретение относится к нанотехнологии, более конкретно к устройствам, обеспечивающим получение информации о состоянии поверхности с использованием сканирующей зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в зондовом датчике на основе кварцевого резонатора для сканирующего зондового микроскопа, содержащем платформу с закрепленным на ней кварцевым резонатором с основанием, на платформе последовательно закреплены плоская пьезокерамическая пластина с первым и вторым электродами,
|