На данной странице представлена ознакомительная часть выбранного Вами патента
Для получения более подробной информации о патенте (полное описание, формула изобретения и т.д.) Вам необходимо сделать заказ. Нажмите на «Корзину»
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДЕФОРМАЦИИ И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ | |
Номер публикации патента: 2200300 | |
Редакция МПК: | 7 | Основные коды МПК: | G01B007/16 | Аналоги изобретения: | SU 905629 A, 15.02.1982. SU 574602 A, 30.09.1977. SU 977938 A, 30.11.1982. DE 3421482 A, 12.12.1985. US 5101669 A, 07.04.1992. |
Имя заявителя: | Научно-исследовательский институт физических измерений | Изобретатели: | Зеленцов Ю.А. Козин С.А. Шамраков А.Л. | Патентообладатели: | Научно-исследовательский институт физических измерений |
Реферат | |
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано при разработке и изготовлении малогабаритных полупроводниковых высокочувствительных преобразователей деформации. Предложен преобразователь деформации, содержащий пленочный тензорезистор с положительным температурным коэффициентом сопротивления, соединенный с гибкой диэлектрической основной, тензорезистор выполнен из легированного бором слоя монокристаллического кремния толщиной 2.
|